氧氣分析儀在半導(dǎo)體/液晶/電子元器件等領(lǐng)域的相關(guān)應(yīng)用

測量原理

氧化鋯輕型電池

形狀

分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直接插入式）

顯示方式

4位數(shù)字顯示（密度顯示）

測量范圍

0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2　10 -20?10 -0大氣壓
自動范圍

重復(fù)性

在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或以上
±1％FS以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1％內(nèi)，atm范圍超出保證的濃度范圍

測量點數(shù)

1-8

樣氣條件

壓力

10 -3至200 KPa（壓力）

流量

0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然擴散狀態(tài)的測量）

濕度

露點低于環(huán)境溫度

溫度

0-100℃

其他

不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。

比較氣

大氣層

記錄儀輸出

僅變速箱輸出

變速箱輸出

RS-232C

報警輸出

沒有

熱身時間

6分鐘以內(nèi)

尺寸

MS-500（控制器）

92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起）

MS-510（轉(zhuǎn)換器）

100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起）

傳感器單元

SD16NW

總長100 mm（感應(yīng)部分Φ11×39，主體部分Φ40×51）

SD25NW

總長100mm（感應(yīng)部分Φ11×42，主體部分Φ40×48）

SD40NW

總長100 mm（感應(yīng)部分Φ11×41，主體部分Φ40×49）

大眾

MS-500（控制器）

約0.6Kg

MS-510（轉(zhuǎn)換器）

約0.5kg

傳感器單元

SD16NW

約0.2Kg

SD25NW

約0.2Kg

SD40NW

約0.35Kg

外部連接

真空法蘭之一（NW16、25、40）

使用電源

24VDC±10％