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          Product center

          氧化鋯氧量分析儀的使用及維護(hù)

          發(fā)布時(shí)間:2021-06-25 點(diǎn)擊量:1895

          氧化鋯氧量分析儀的使用及維護(hù)

          半導(dǎo)體/液晶/電子元件相關(guān)應(yīng)用半導(dǎo)體、電子元件用氧分析儀
          MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

          氧氣計(jì) MS-500

          MS-500

          • 最多可同時(shí)測(cè)量 8 個(gè)點(diǎn)
          • 可以顯示從 ppm 級(jí)到 100% 的各種濃度。
          • 適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等上。
          • 傳感器為直插式(NW 法蘭用于真空 16/25/40)
          • 高度耐用的傳感器采用特殊涂層,以進(jìn)一步提高耐用性。?

          MS-500 設(shè)備規(guī)格

          測(cè)量原理

          氧化鋯濃縮電池供電

          形狀

          分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直插式)

          顯示方式

          數(shù)字4位顯示(濃度顯示)

          測(cè)量范圍

          0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
          自動(dòng)量程

          重復(fù)性

          在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多
          ± 1% FS 或更少或 ±
          0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm,atm 范圍超出保證濃度范圍

          測(cè)量點(diǎn)數(shù)

          1-8

          樣氣條件

          壓力

          10 -3~ 200 KPa(絕壓)

          流量

          0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量)

          濕度

          露點(diǎn)低于環(huán)境溫度

          溫度

          0-100℃

          其他

          不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。

          比較氣體

          氣氛

          錄音機(jī)輸出

          僅傳輸輸出

          傳輸輸出

          RS-232C

          報(bào)警輸出

          沒(méi)有任何

          熱身時(shí)間

          6分鐘內(nèi)

          尺寸

          MS-500(控制器)

          92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分)

          MS-510(轉(zhuǎn)換器)

          100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分)

          傳感器單元

          SD16NW

          全長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,本體部分Φ40×51)

          SD25NW

          全長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,本體部分Φ40×48)

          SD40NW

          全長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,本體部分Φ40×49)

          大量的

          MS-500(控制器)

          約0.6Kg

          MS-510(換能器)

          約0.5kg

          傳感器單元

          SD16NW

          約0.2Kg

          SD25NW

          約0.2Kg

          SD40NW

          約0.35Kg

          外部連接

          真空法蘭之一(NW16、25、40)

          使用的電源

          24VDC ± 10%

           

           

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