非接觸式Chucking的功能
它使用與Bernoulli方法不同的開發的非接觸吸附技術。
供應壓力和吸力壓力之間的平衡使得無需接觸和低壓力的工件就可以抓住工件。
非接觸吸附技術
●穩定的飛行特征：支持工件的流體膜的穩定性是氣體軸承本身。沒有振動。
●低空氣消耗：空氣供應和吸力都可以達到高效率，從而降低了空氣消耗。
●好的安靜：氣流常慢。沒有操作噪音，也沒有灰塵升起。
高精度
●間隙調整：可以通過結合供應壓力和吸力壓力來調整差距。
●高精度：浮動間隙均勻地與吸附表面均勻。工件在高度精確的平面上受支持。
高基本表現
●低壓力：整個工件都由流體膜支撐。保留是統一的。它不會強調工作。
●強烈的握力：盡管它是非接觸的，但它提供了與真空吸力杯相當的抓地力。
●清潔：沒有與工件接觸。滲透多孔體的液體干凈。
非接觸式chuck的概述
流體靜態的穩定傾斜特征和真空吸力的預壓效應可實現低壓力和強大的抓地力。
吹掃 +真空=非接觸式chuck！
崛起如何運作
非接觸式Chucking基于使用碳多孔體的靜壓氣體軸承的技術。所提供的壓力流過多孔體，并均勻地從整個軸承表面流出。工件從軸承表面上升起，并帶有較小的間隙，從而使其變得流暢。
非接觸的工作方式
在非接觸式旋轉中，在氣體軸承的軸承表面上提供了微孔，并連接真空源以吸收它。浮動的力和吸附的力是同時在同一平面上產生并保持平衡的，從而產生了非接觸的吸附狀態。目前，吸附力創造了凝固流體膜的效果，從而提高了工件的穩定性。
高精度的工作方式
該工件一直處于非接觸式吸附狀態，由流體膜均勻地支撐而沒有不均勻的負載，并且在保持恒定間隙的同時，它遵循軸承表面，形成精確的平面。工件保持在無壓力，自然狀態，不會在高度方向上引起位移或振動。
非接觸式視頻
●演示
●φ200mm晶圓處理
應用的示例
硅晶圓 chuck桌 | 硅晶圓 材料處理末端效應器 | 玻璃板檢查臺 |
φ200mm兼容 | φ200mm兼容 | 500x400mm |
φ300mm兼容 | φ300mm兼容 | - |
產品規格
| 用途 | chuck桌 | 最終效應器 | 玻璃 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 合適的工件尺寸 | φ200mm | φ300mm | φ200mm | φ300mm | 500x400mm |
| 模型 | PC3CSA-215-ACNA | PC3CSA-315-ACNA | PC3CFA-215-ACNA | PC3CFA-315-ACNA | PC3SSA-500/400 |
| 使用的流體 | 空氣，氮 | 空氣，氮 | 空氣，氮 | 空氣，氮 | 空氣，氮 |
| 空氣供應壓力 | ?0.5MPA | ?0.5MPA | ?0.3MPA | ?0.3MPA | ?0.2MPA |
| 空氣消耗 | ?17L/min | ?33L/min | 13L/min（0.2MPA） | 29L/min（0.2MPA） | 47L/min（0.2MPA） |
| 吸力壓力 | ?-0 。 1MPA | ?-0 。 1MPA | ?-0 。 1MPA | ?-0 。 1MPA | ?-0 。 1MPA |
| 吸力位移 | 53L/min （ -30KPA） | 138L/min （ -30KPA） | 36升/分鐘（ -10KPA） | 52L/min （ -10KPA） | 90L/min （ -15kpa） |
| 平坦 | 3μm | 13μm | 28μm | 31μm | 11.8μm |
| 連接孔直徑 | 空調M5 x 2，吸力RC1/8 x 2 | 空調M5 x 2，吸力RC1/4 x 4 | 空氣供應M5 x 1，吸力M5 x 2 | 空氣供應M5 x 1，吸力M5 x 2 | 供應RC1/4X1，供應RC3/8x2 |
| 尺寸 | 外徑φ225mmx厚度41mm | 外徑φ325mmx厚度46mm | 外徑φ225mmx厚度7.4mm | 外徑φ325mmx厚度7.4mm | 550 x 450 x 32 |
| 重量 | 3.7公斤 | 8.2公斤 | 336克 | 683克 | 17.5kg |
| 大氣溫度 | 23±2℃ | 23±2℃ | 23±2℃ | 23±2℃ | 23±2℃ |
| 氣壓 | 氣壓 | 氣壓 | 氣壓 | 氣壓 | 氣壓 |
