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日本napsonμ非接觸式光學膜厚測量系統FilmTek 1000
?SCI（科學計算）光學膜厚測量系統?
憑借廣泛的測量波長，專有算法和分析軟件，我們具有其他公司所沒有的各種優勢。
通過組合靈活的系統，我們可以準確地響應您的需求。
[關于SCI（科學計算）]
SCI（科學計算）于1993年在加利福尼亞州成立，是一家薄膜分析和設計軟件公司。
在1996 年開發的分析和設計軟件FilmWizasrd TM被*為各個領域的優xiu軟件包之后，我們開發了光學膜厚測量儀FilmTeK TM系列。
該公司的產品可以執行非接觸，非破壞性和高精度的折射率測量，半導體，光電，數據存儲，平板，MEMS，光致抗蝕劑，TSV（硅直通電極）和其他成膜過程。它已交付給大型公司，并在范圍內享有很高的聲譽。
[產品陣容]
<1> FilmTek 1000系列：簡單的干涉儀系統
? FilmTek 1000UV（UV?面光源）
? FilmTek 1000M（小斑點）
<2> FilmTek 2000系列：干涉儀測繪標準系統，也可以進行多層膜分析。
? FilmTek 2000M（小斑點）
? FilmTek 2000M TSV（TSV測量）
FilmTek 2000SE（橢圓儀）
? FilmTek 2000PAR
<3> FilmTek 3000系列：使用分光鏡在DUV到NIR范圍內，測量透明和半透明基板上薄膜的反射率和透射率圖
? FilmTek 3000M
? FilmTek 3000 +近紅外
? FilmTek 3000SE
? FilmTek 3000PAR
<4> FilmTek 4000系列：通過功率譜密度（PSD）進行多角度反射率測量和高精度測量
? FilmTek 4000VIS +紅外
? FilmTek 4000SE
<5> FilmTek SE：光譜橢圓儀
[FilmTek產品概述]
FilmTek系列是一種光學非接觸式膜厚測量設備，可進行無損且高精度的折射率測量。
為了進行分析，可以使用SCI*的高性能軟件：Film Wizard。
可以在不固定折射率和吸收（衰減）系數的情況下與膜厚度同時計算折射率和吸收系數。
在測量的同時輸出光學膜厚度，然后使用洛倫茲-洛倫茲公式由反射率和透射率確定介電常數。
確定介電常數后，將使用SCI的原始色散公式作為物理屬性值自動計算材料的波長依賴性，并自動擬合n（折射率）和k（吸收系數）。 ..
另外，由于將折射率的分辨率計算為10-4以上，因此，不僅是由該固定折射率得到的來自上表面的信息，而且還包括界面層，表面的變化和內傾斜層?？梢圆蹲降接绊憽?/p>
[測量例]
<測量目標>
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日本napsonμ非接觸式光學膜厚測量系統FilmTek 1000 <測量膜的 光刻膠金屬薄膜（半透明） 聚酰亞胺Al2O5 IGZO OLED等 <測量基準示例> | ? |
產品名稱：膜厚測量系統（非接觸式，光學型）
