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          日本advance2ω法納米薄膜熱導儀TCN-2ω

          日本advance2ω法納米薄膜熱導儀TCN-2ω

          產品型號:

          所屬分類:熱導率

          產品時間:2025-08-05

          簡要描述:日本advance2ω法納米薄膜熱導儀TCN-2ω
          該設備是世界上唯yi使用2ω方法測量納米薄膜在厚度方向上的導熱率的商用設備。與其他方法相比,樣品的生產和測量更加容易。

          詳細說明:

          日本advance2ω法納米薄膜熱導儀TCN-2ω

          該設備是世界上唯yi使用2ω方法測量納米薄膜在厚度方向上的導熱率的商用設備。與其他方法相比,樣品的生產和測量更加容易。

          使用

          • 量化低K絕緣膜的熱阻,以用于半導體器件的熱設計
          • 絕緣膜的開發和散熱的改善
          • 在熱電薄膜中的應用評價

          特征

          • 可以測量在基板上形成的20至1000nm的薄膜的厚度方向上的熱導率。
          • 使用熱反射法通過溫度幅度檢測實現測量
          • 易于預處理的測量樣品

          日本advance2ω法納米薄膜熱導儀TCN-2ω

          規格

          測量溫度逆時針
          樣品尺寸寬10毫米x長10至20毫米x厚度0.3至1毫米(板)
          測量氣氛在真空中

          測量原理

          關于“在絕熱邊界條件下通過2ω法評估薄片樣品的導熱系數”的論文

          當金屬薄膜以f / Hz的頻率加熱時,加熱量變化為2f / Hz。
          在充分散熱的條件下,金屬薄膜(0)–薄膜(1)–基板(s)的三層系統中金屬薄膜表面的溫度變化T(0)是一維的穿過金屬薄膜/薄膜,以下公式用于表示傳熱模型的解析解。

          (Λ:導熱率W m -1 K -1,C:體積比熱容JK -1 m -3,q:每體積的熱量W m -3,d:厚度m,ω:角頻率(=2πf) / s -1

          由于實數解(同相振幅)包含薄膜的信息,因此在相同條件下以不同頻率進行測量時,同相振幅與(2ω)-0.5成比例。
          的熱導率λ 1所述的薄膜是通過以下公式獲得。
          (M:斜率,n:截距)

          Si基板上的SiO 2薄膜(20-100 nm)的示例

          薄膜厚度/ nm19.951.096.8
          導熱系數/ Wm -1 K -10.821.121.20


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